(19)
(11) EP 3 976 853 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.04.2022  Patentblatt  2022/14

(21) Anmeldenummer: 20722575.6

(22) Anmeldetag:  29.04.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/458(2006.01)
 C30B 25/12(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C30B 25/12; C23C 16/4585
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/061882
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/239347 (03.12.2020 Gazette  2020/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 28.05.2019 DE 102019207772

(71) Anmelder: Siltronic AG
81677 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HABERECHT, Jörg
    09599 Freiberg (DE)
  • HEINRICH, Stephan
    09599 Freiberg (DE)
  • SCHAUER, Reinhard
    83410 Laufen (DE)
  • STEIN, Rene
    09627 Bobritzsch-Hilbersdorf (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINER EPITAKTISCHEN SCHICHT AUF EINER VORDERSEITE EINER HALBLEITERSCHEIBE UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS