(19)
(11) EP 3 977 147 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.04.2022  Patentblatt  2022/14

(21) Anmeldenummer: 20730177.1

(22) Anmeldetag:  17.05.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 33/032(2006.01)
G01R 33/24(2006.01)
H01L 33/00(2010.01)
C30B 29/04(2006.01)
H01L 27/15(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01R 33/032; C30B 29/04; H01L 27/15; H01L 33/0004; G01R 33/26
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2020/100430
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2020/239172 (03.12.2020 Gazette  2020/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 25.05.2019 DE 102019114032

(71) Anmelder: Quantum Technologies UG (Haftungsbeschränkt)
04103 Leipzig (DE)

(72) Erfinder:
  • MEIJER, Jan
    44801 Bochum (DE)
  • BURCHARD, Bernd
    45276 Essen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG VON DIAMANT-NANOKRISTALLEN MIT NV-FARBZENTREN IN CMOS-SCHALTKREISEN