(19)

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EP 3 977 515 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.04.2022  Patentblatt  2022/14 (21) Anmeldenummer: 20728423.3 (22) Anmeldetag:  18.05.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/08(2006.01) H01L 29/66(2006.01) H01L 29/10(2006.01) H01L 29/78(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 29/66734; H01L 29/7813; H01L 29/1095; H01L 29/0878; H01L 29/1608; H01L 29/2003 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/063772 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/239488 (03.12.2020 Gazette  2020/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 27.05.2019 DE 102019207758 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: SCHOLTEN, Dick 70188 Stuttgart (DE) MARTINEZ-LIMIA, Alberto 72072 Tuebingen (DE) BARTOLF, Holger 72131 Ofterdingen (DE) KREBS, Daniel 70597 Stuttgart (DE) FEILER, Wolfgang 72770 Reutlingen (DE) SCHWAIGER, Stephan 72147 Nehren (DE) ALSMEIER, Jan-Hendrik 72793 Pfullingen (DE)