(19)

(11)

EP 3 977 519 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.04.2022  Patentblatt  2022/14 (21) Anmeldenummer: 20727950.6 (22) Anmeldetag:  18.05.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/78(2006.01) H01L 29/08(2006.01) H01L 29/06(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 29/0623; H01L 29/0696; H01L 29/0878; H01L 29/1095; H01L 29/1608; H01L 29/2003; H01L 29/7813 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/063821 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/239501 (03.12.2020 Gazette  2020/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 31.05.2019 DE 102019208010 19.07.2019 DE 102019210681 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: HEYERS, Klaus 72766 Reutlingen (DE) MARTINEZ-LIMIA, Alberto 72072 Tuebingen (DE) ALSMEIER, Jan-Hendrik 72793 Pfullingen (DE) FEILER, Wolfgang 72770 Reutlingen (DE) SCHWAIGER, Stephan 72147 Nehren (DE)