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EP 3 987 568 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 27.04.2022  Patentblatt  2022/17 (21) Anmeldenummer: 20732765.1 (22) Anmeldetag:  29.05.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/373(2006.01) H01L 25/07(2006.01) H01L 23/42(2006.01) H01L 23/40(2006.01) H01L 21/48(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 23/4006; H01L 23/42; H01L 23/3735; H01L 21/4882; H01L 2224/32225; H01L 25/072; H01L 25/18 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/065052 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2020/259958 (30.12.2020 Gazette  2020/53)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 24.06.2019 DE 102019209069 (71) Anmelder: Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co KG 15827 Blankenfelde-Mahlow (DE)	(72) Erfinder: LASCH, Markus 81927 München (DE) MÜLLER, Claus 82515 Wolfratshausen (DE) RAAB, Oliver 94496 Ortenburg (DE) STEGMEIER, Stefan 81541 München (DE) WALTRICH, Uwe 91052 Erlangen (DE)