(19)

(11)

EP 3 991 199 A1

(12)

(43) Date de publication: 04.05.2022  Bulletin  2022/18 (21) Numéro de dépôt: 20734747.7 (22) Date de dépôt:  26.06.2020

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/0262; H01L 21/0254; H01L 21/02603; H01L 21/02639; H01L 21/02576; H01L 21/02579; H01L 21/02439 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2020/068139 (87) Numéro de publication internationale: WO 2020/260658 (30.12.2020 Gazette  2020/53)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 28.06.2019 FR 1907109 (71) Demandeur: Aledia 38130 Echirolles (FR)	(72) Inventeurs: DUPONT, Florian 38000 GRENOBLE (FR) NAPIERALA, Jérôme 38120 SAINT EGREVE (FR) (74) Mandataire: Cabinet Beaumont  4, Place Robert Schuman B.P. 1529 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)