(19)

(11)

EP 3 994 097 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.05.2022  Patentblatt  2022/19 (21) Anmeldenummer: 20736677.4 (22) Anmeldetag:  02.07.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C01B 33/027(2006.01) B01J 19/00(2006.01) C01B 33/029(2006.01) H05H 1/26(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C01B 33/027; C01B 33/029; H05H 1/48; B01J 4/002; B01J 12/002; B01J 12/005; B01J 12/02; B01J 2219/0898 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/068743 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/001513 (07.01.2021 Gazette  2021/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 04.07.2019 DE 102019209898 (71) Anmelder: Schmid Silicon Technology GmbH 72250 Freudenstadt (DE)	(72) Erfinder: SCHMID, Christian 72250 Freudenstadt (DE) PETRIK, Georgij 71032 Böblingen (DE) HAHN, Jochem 72108 Rottenburg am Neckar (DE) FEINÄUGLE, Peter 72250 Freudenstadt (DE) (74) Vertreter: Ostertag & Partner Patentanwälte mbB  Azenbergstraße 35 70174 Stuttgart 70174 Stuttgart (DE)