(19)
(11) EP 3 994 722 A1

(12)

(43) Date de publication:
11.05.2022  Bulletin  2022/19

(21) Numéro de dépôt: 20712591.5

(22) Date de dépôt:  25.03.2020
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/76254
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2020/058316
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/001066 (07.01.2021 Gazette  2021/01)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 02.07.2019 FR 1907328

(71) Demandeurs:
  • SOITEC
    38190 Bernin (FR)
  • Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
    75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • AUGENDRE, Emmanuel
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • GAILLARD, Frédéric
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • LORNE, Thomas
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • ROLLAND, Emmanuel
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)
  • VEYTIZOU, Christelle
    38190 Bernin (FR)
  • BERTRAND, Isabelle
    38190 Bernin (FR)
  • ALLIBERT, Frédéric
    38100 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: IP Trust 
2, rue de Clichy
75009 Paris
75009 Paris (FR)

   


(54) STRUCTURE SEMI-CONDUCTRICE COMPRENANT UNE COUCHE POREUSE ENTERREE, POUR APPLICATIONS RF