ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMAKHTNMD..........*XBDM Ver 2.0.15 (20th of December) - 1100000/03994722A120220511EP20712591.52020032520211221frfrfr190732820190702FR2022051120221920220511202219H01L 21/762 20060101AFI20210115BHEP H01L 21/76254 20130101 FI20191107BHEP deHALBLEITERSTRUKTUR MIT EINER UNTERIRDISCHEN PORÖSEN SCHICHT FÜR HF-ANWENDUNGENenSEMICONDUCTOR STRUCTURE COMPRISING AN UNDERGROUND POROUS LAYER, FOR RF APPLICATIONSfrSTRUCTURE SEMI-CONDUCTRICE COMPRENANT UNE COUCHE POREUSE ENTERREE, POUR APPLICATIONS RFSOITEC101848248SOI124_EPParc Technologique des Fontaines Chemin des Franques38190 BerninFRCommissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives101733562SOI124_EPBâtiment le Ponant 25, rue Leblanc75015 ParisFRAUGENDRE, EmmanuelCEA GRENOBLE 17 rue des Martyrs38054 Grenoble Cedex 09FRGAILLARD, FrédéricCEA GRENOBLE 17 rue des Martyrs38054 Grenoble Cedex 09FRLORNE, ThomasCEA GRENOBLE 17 rue des Martyrs38054 Grenoble Cedex 09FRROLLAND, EmmanuelCEA GRENOBLE 17 rue des Martyrs38054 Grenoble Cedex 09FRVEYTIZOU, Christelle295 Chemin du Crapanoz38190 BerninFRBERTRAND, Isabelle756, RD 1090 Cedex 3838190 BerninFRALLIBERT, Frédéric30 rue Gay Lussac38100 GrenobleFRIP Trust1014809372, rue de Clichy75009 ParisFRALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEKHMAMDTNEP202005831620200325frWO202100106620210107202101