(19)
(11) EP 3 997 033 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.05.2022  Patentblatt  2022/20

(21) Anmeldenummer: 20737176.6

(22) Anmeldetag:  07.07.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C01B 32/956(2017.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C01B 32/956
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/069085
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/005039 (14.01.2021 Gazette  2021/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 11.07.2019 DE 102019118866
22.11.2019 DE 102019131592

(71) Anmelder: ESK-SIC GmbH
50226 Frechen (DE)

(72) Erfinder:
  • HAUSMANN, Matthias
    50823 Köln (DE)
  • KLIETZ, Wenzel
    50825 Köln (DE)
  • GARBES, Josef
    50127 Bergheim (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Bauer Vorberg Kayser 
Partnerschaft mbB Goltsteinstraße 87
50968 Köln
50968 Köln (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM AUFREINIGEN VON SILICIUMCARBID