(19)

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EP 4 004 962 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.06.2022  Patentblatt  2022/22 (21) Anmeldenummer: 20740177.9 (22) Anmeldetag:  23.05.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/09(2006.01) H01J 37/28(2006.01) H01J 37/12(2006.01) H01J 37/26(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01J 37/09; H01J 37/12; H01J 2237/0455; H01J 2237/04926; H01J 2237/04928; H01J 2237/04924; H01J 2237/1205; H01J 2237/0453; H01J 2237/1215; H01J 37/28; H01J 37/263; H01J 37/265 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2020/000101 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/018327 (04.02.2021 Gazette  2021/05)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 31.07.2019 DE 102019005362 (71) Anmelder: Carl Zeiss MultiSEM GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: SCHUBERT, Stefan 73447 Oberkochen (DE) ZEIDLER, Dirk 73447 Oberkochen (DE) METALIDIS, Georgo 89551 Königsbronn (DE) FRITZ, Hans 79286 Glottertal (DE) LENKE, Ralf 73466 Lauchheim (DE) (74) Vertreter: Tesch-Biedermann, Carmen  Athene Patent Hanns-Schwindt-Straße 11 81829 München 81829 München (DE)