(19)
(11) EP 4 004 970 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2022  Patentblatt  2022/22

(21) Anmeldenummer: 20745135.2

(22) Anmeldetag:  21.07.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H01L 21/687(2006.01)
 G01R 31/28(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/67248; H01L 21/67103; H01L 21/687; G01R 31/2831; G01R 31/2874; G01R 31/2865
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/070514
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/013819 (28.01.2021 Gazette  2021/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 22.07.2019 DE 102019005093

(71) Anmelder: ATT Advanced Temperature Test Systems GmbH
82152 Planegg (DE)

(72) Erfinder:
  • EIBL, Markus
    82152 Planegg (DE)

(74) Vertreter: Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB 
Friedenheimer Brücke 21
80639 München
80639 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR TEMPERATURSTEUERUNG BZW. -REGELUNG EINES CHUCKS FÜR EINEN WAFER, TEMPERIEREINRICHTUNG UND WAFERTESTSYSTEM