(19)
(11) EP 4 005 092 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.06.2022  Patentblatt  2022/22

(21) Anmeldenummer: 20743618.9

(22) Anmeldetag:  14.07.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H03K 7/08(2006.01)
 H03K 11/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H03K 7/08; H03K 11/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/069899
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/018573 (04.02.2021 Gazette  2021/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 31.07.2019 DE 102019211477

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • RICHT, Cornelius
    73431 Aalen (DE)
  • AWAD, Mohammad
    89522 Heidenheim (DE)

(74) Vertreter: Horn Kleimann Waitzhofer Patentanwälte PartG mbB 
Ganghoferstrasse 29a
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) MODULATIONSVORRICHTUNG, ANSTEUERVORRICHTUNG, OPTISCHES SYSTEM, LITHOGRAPHIEANLAGE UND VERFAHREN