(19)

(11)

EP 4 008 021 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.06.2022  Patentblatt  2022/23 (21) Anmeldenummer: 20771481.7 (22) Anmeldetag:  03.09.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/56(2006.01) H01L 21/60(2006.01) H01L 23/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/56; H01L 21/563; H01L 23/3735; H01L 24/00; H01L 24/29; H01L 24/32; H01L 24/83; H01L 25/072; H01L 2224/3003; H01L 2224/3015; H01L 2224/32245; H01L 2224/83192; H01L 2224/83203; H01L 2224/83801; H01L 2224/8384; H01L 2224/83851; H01L 2224/83948; H01L 2224/83951; H01L 2224/97; H01L 2224/0603   C-Sets : H01L 2224/97; (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/074517 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/043855 (11.03.2021 Gazette  2021/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 06.09.2019 DE 102019213609 30.09.2019 DE 102019214996 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: JESKE, Nora 10555 Berlin (DE) MÜLLER, Bernd 16259 Falkenberg (DE) SCHELLENBERG, Christian 14480 Potsdam (DE) STROGIES, Jörg 14163 Berlin (DE) WILKE, Klaus 12527 Berlin (DE)