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EP 4 008 022 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 08.06.2022  Patentblatt  2022/23 (21) Anmeldenummer: 20750624.7 (22) Anmeldetag:  29.07.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H01L 21/60(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 24/75; H01L 2224/7526; H01L 2224/75251; H01L 2224/75501; H01L 2224/75745; H01L 2224/75705; H01L 2224/75841; H01L 2224/75824; H01L 2224/7592; H01L 2224/7531; H01L 2224/75822; H01L 2224/32225; H01L 2224/75753; H01L 2224/83121; H01L 2224/83201; H01L 2224/8323; H01L 2224/83874; H01L 24/83; H01L 2224/75252 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/071362 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/023591 (11.02.2021 Gazette  2021/06)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 02.08.2019 DE 102019120955 (71) Anmelder: ASM Amicra Microtechnologies GmbH 93055 Regensburg (DE)	(72) Erfinder: KAISER, Rudolf 93138 Lappersdorf (DE) LAPSIEN, Horst 93049 Regensburg (DE) (74) Vertreter: Glück Kritzenberger Patentanwälte PartGmbB  Hermann-Köhl-Strasse 2a 93049 Regensburg 93049 Regensburg (DE)