(19)
(11) EP 4 014 260 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.06.2022  Patentblatt  2022/25

(21) Anmeldenummer: 20743672.6

(22) Anmeldetag:  20.07.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/102(2006.01)
H01L 31/028(2006.01)
 H01L 31/0232(2014.01)
G01N 27/12(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 31/102; H01L 31/028; H01L 31/02327; G01N 27/129
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/070460
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/028157 (18.02.2021 Gazette  2021/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.08.2019 DE 102019122009

(71) Anmelder:
  • AMO GmbH
    52074 Aachen (DE)
  • ICFO - The Institute of Photonic Sciences
    08860 Casteldefels, Barcelona (ES)

(72) Erfinder:
  • NEUMAIER, Daniel
    52159 Roetgen NRW (DE)
  • WANG, Zhenxing
    52134 Herzogenrath (DE)
  • GOOSSENS, Stijn
    08810 Sant Pere de Ribes (ES)
  • KOPPENS, Frank
    08860 Castelldefels (ES)
  • DE DE FAZIO, Domenico
    08860 Castelldefels (ES)
  • UZLU, Hasan, Burkay
    52066 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Bauer Vorberg Kayser 
Partnerschaft mbB Goltsteinstraße 87
50968 Köln
50968 Köln (DE)

   


(54) SENSOR ZUM NACHWEIS FÜR AUF SEINE OBERFLÄCHE EINFALLENDE PHOTONEN UND/ODER SICH AUF SEINER OBERFLÄCHE ANLAGERNDE FREMDSTOFFE