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EP 4 018 154 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 29.06.2022  Patentblatt  2022/26 (21) Anmeldenummer: 20764950.0 (22) Anmeldetag:  13.08.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01B 9/02(2022.01) G01M 11/00(2006.01) G01N 21/47(2006.01) G02B 5/18(2006.01) G01B 11/24(2006.01) G01B 11/06(2006.01) G01Q 60/24(2010.01) G03H 1/02(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G01B 9/02039; G01B 11/2441; G01M 11/005; G01B 11/0633; G01B 11/065; G01B 2210/56; G01Q 60/24; G02B 5/1819; G02B 5/1866; G03H 1/30; G03H 2001/0033; G03H 2001/0072; G02B 2005/1804; G01M 11/025; G01M 11/0271 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/072749 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/032589 (25.02.2021 Gazette  2021/08)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 21.08.2019 DE 102019212520 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: WINKLER, Alexander 89520 Heidenheim (DE) SCHEID, Martin 73434 Aalen (DE) STIEPAN, Hans Michael 73431 Aalen (DE) HETZLER, Jochen 73434 Aalen (DE) EISERT, Frank 73431 Aalen (DE) (74) Vertreter: Zeuner Summerer Stütz  Patent- und Rechtsanwälte Partnerschaft Nußbaumstraße 8 80336 München 80336 München (DE)