(19)
(11) EP 4 018 481 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.06.2022  Patentblatt  2022/26

(21) Anmeldenummer: 20760435.6

(22) Anmeldetag:  19.08.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/06(2006.01)
H01L 21/336(2006.01)
 H01L 29/78(2006.01)
H01L 29/10(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 29/7813; H01L 29/66734; H01L 29/0623; H01L 29/0878; H01L 29/1095; H01L 29/1608; H01L 29/66068; H01L 29/0696
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/073213
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/037637 (04.03.2021 Gazette  2021/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 23.08.2019 DE 102019212649

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • MARTINEZ-LIMIA, Alberto
    72072 Tuebingen (DE)
  • HEYERS, Klaus
    72766 Reutlingen (DE)
  • FEILER, Wolfgang
    72770 Reutlingen (DE)
  • SCHWAIGER, Stephan
    72147 Nehren (DE)
  • ALSMEIER, Jan-Hendrik
    72793 Pfullingen (DE)

   


(54) HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERVORRICHTUNG