(19)

(11)

EP 4 022 393 A1

(12)

(43) Date de publication: 06.07.2022  Bulletin  2022/27 (21) Numéro de dépôt: 20764362.8 (22) Date de dépôt:  27.08.2020

(51) Int. Cl.:  G03F 7/00(2006.01) G03F 7/40(2006.01) G03F 7/095(2006.01) G03F 7/20(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : G03F 7/0035; G03F 7/40; G03F 7/095; G03F 7/70466; G03F 7/0002; G03F 7/2022 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2020/074030 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/038013 (04.03.2021 Gazette  2021/09)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 29.08.2019 FR 1909527 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: LANDIS, Stefan 38054 Grenoble (FR) LAURENT, Romain 38054 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Hautier IP - MC/EP  20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)