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EP 4 022 663 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 06.07.2022  Patentblatt  2022/27 (21) Anmeldenummer: 20751508.1 (22) Anmeldetag:  31.07.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 1/304(2006.01) H01J 3/02(2006.01) H01J 1/38(2006.01) H01J 1/316(2006.01) H01J 35/06(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01J 1/3046; H01J 1/316; H01J 1/38; H01J 3/027; H01J 35/065; H01J 2201/319; H01J 2201/30453; H01J 2235/062 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/071704 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/037481 (04.03.2021 Gazette  2021/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.08.2019 DE 102019123248 (71) Anmelder: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 91054 Erlangen (DE)	(72) Erfinder: WEBER, Heiko 91052 Erlangen (DE) KRIEGER, Michael 90552 Röthenbach (DE) OTT, Christian 90763 Fürth (DE) (74) Vertreter: Huebner, Stefan Rolf  Postfach 101317 80087 München 80087 München (DE)