(19)

(11)

EP 4 022 688 A1

(12)

(43) Date de publication: 06.07.2022  Bulletin  2022/27 (21) Numéro de dépôt: 20757928.5 (22) Date de dépôt:  25.08.2020

(51) Int. Cl.:  H01L 31/068(2012.01) H01L 31/0368(2006.01) H01L 31/0216(2014.01) H01L 31/18(2006.01) H01L 31/0288(2006.01) H01L 21/225(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 31/0288; H01L 31/1864; H01L 21/2254; H01L 31/02167; H01L 31/03682; H01L 31/068; H01L 31/1804; Y02E 10/546; Y02E 10/547; Y02P 70/50 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2020/073739 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/037846 (04.03.2021 Gazette  2021/09)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 29.08.2019 FR 1909500 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: CABAL, Raphaël 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) GRANGE, Bernadette 38054 Grenoble Cedex 09 (FR) (74) Mandataire: INNOV-GROUP  310, avenue Berthelot 69372 Lyon Cedex 08 69372 Lyon Cedex 08 (FR)