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EP 4 028 569 A2

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(88) Veröffentlichungstag A3: 14.05.2021 (43) Veröffentlichungstag: 20.07.2022  Patentblatt  2022/29 (21) Anmeldenummer: 20780569.8 (22) Anmeldetag:  08.09.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/06(2006.01) C23C 14/35(2006.01) C23C 14/50(2006.01) H01J 37/34(2006.01) C23C 14/02(2006.01) C23C 14/34(2006.01) C23C 28/04(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 14/0641; C23C 14/067; C23C 14/022; C23C 14/352; C23C 14/345; C23C 14/505; C23C 14/3485; H01J 37/3467; C23C 28/04; C23C 30/005; H01J 37/3405; H01J 37/3429; H01J 37/32779; H01J 37/32706 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/075095 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/048136 (18.03.2021 Gazette  2021/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 12.09.2019 DE 102019124616 (71) Anmelder: CemeCon AG 52146 Würselen (DE)	(72) Erfinder: KÖLKER, Werner 52134 Herzogenrath (DE) BOLZ, Stephan 52072 Aachen (DE) LEMMER, Oliver 52066 Aachen (DE) (74) Vertreter: Kalkoff & Partner Patentanwälte mbB  Martin-Schmeisser-Weg 3a-3b 44227 Dortmund 44227 Dortmund (DE)