(19)

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EP 4 029 051 A1

(12)

(43) Date de publication: 20.07.2022  Bulletin  2022/29 (21) Numéro de dépôt: 20785807.7 (22) Date de dépôt:  11.09.2020

(51) Int. Cl.:  H01L 21/30(2006.01) H01L 21/321(2006.01) H01L 21/02(2006.01) C23C 14/58(2006.01) H01L 21/768(2006.01) H01L 21/28(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/321; C23C 14/5826; C23C 14/584; H01L 21/02527; H01L 21/02658; H01L 21/02381; H01L 21/02488; H01L 21/02491; H01L 21/02502; H01L 21/02107 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2020/051573 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/048507 (18.03.2021 Gazette  2021/11)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 13.09.2019 FR 1910128 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: DELCHEVALRIE, Julien 91190 GIF SUR YVETTE (FR) ARNAULT, Jean-Charles 78120 RAMBOUILLET (FR) SAADA, Samuel 92160 ANTONY (FR) BACHELET, Romain 69100 VILLEURBANNE (FR) (74) Mandataire: Brevalex  95, rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)