ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMAKHTNMD..........*XBDM Ver 2.0.16 (1th of February 2022) - 1100000/04029051A120220720EP20785807.72020091120220317frfrfr191012820190913FR2022072020222920220720202229H01L 21/30 20060101AFI20210319BHEP C23C 14/58 20060101ALI20210319BHEP H01L 21/321 20060101ALI20210319BHEP H01L 21/768 20060101ALI20210319BHEP H01L 21/02 20060101ALI20210319BHEP H01L 21/28 20060101ALI20210319BHEP H01L 21/321 20130101 LI20200728BHEP C23C 14/5826 20130101 LI20200728BHEP C23C 14/584 20130101 LI20200728BHEP H01L 21/02527 20130101 LA20200828BHEP H01L 21/02658 20130101 LA20200902BHEP H01L 21/02381 20130101 LA20200902BHEP H01L 21/02488 20130101 LA20200902BHEP H01L 21/02491 20130101 LA20200902BHEP H01L 21/02502 20130101 LA20200902BHEP H01L 21/02107 20130101 LI20200902BHEP deBEHANDLUNG EINER DÜNNSCHICHT DURCH WASSERSTOFFPLASMA UND POLARISATION ZUR VERBESSERUNG DER KRISTALLQUALITÄT DAVONenTREATMENT OF A THIN FILM BY HYDROGEN PLASMA AND POLARISATION IN ORDER TO IMPROVE THE CRYSTALLINE QUALITY THEREOFfrTRAITEMENT D'UN FILM MINCE PAR PLASMA D'HYDROGENE ET POLARISATION POUR EN AMELIORER LA QUALITE CRISTALLINECommissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives101902213S69248 WO EP ID-PBâtiment Le Ponant 25 rue Leblanc75015 ParisFRDELCHEVALRIE, Julien106 rue Gustave Vatonne91190 GIF SUR YVETTEFRARNAULT, Jean-Charles34, rue Rouget de Lisle78120 RAMBOUILLETFRSAADA, Samuel87 rue des Marguerites92160 ANTONYFRBACHELET, Romain42 rue Colin69100 VILLEURBANNEFRBrevalex10146247295, rue d'Amsterdam75378 Paris Cedex 8FRALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEKHMAMDTNFR202005157320200911frWO202104850720210318202111