(19)
(11) EP 4 031 483 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.07.2022  Patentblatt  2022/30

(21) Anmeldenummer: 20750217.0

(22) Anmeldetag:  29.07.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 1/00(2006.01)
H01L 21/311(2006.01)
G03F 7/42(2006.01)
 H01L 21/027(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
B81C 2201/112; B81C 2203/0118; B81C 1/00849; H01L 21/31138; H01L 21/67069; H01L 21/67028; G03F 7/427; G03F 7/40; G03F 7/36; B81C 1/00547
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/071360
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/052664 (25.03.2021 Gazette  2021/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 16.09.2019 DE 102019214074

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • ZAMORA, Ricardo
    70188 Stuttgart (DE)
  • BUTZ, Juergen
    72770 Reutlingen (DE)
  • KUHN, Timo
    72800 Eningen (DE)
  • WILL, Barbara
    71083 Herrenberg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM LOKALEN ENTFERNEN UND/ODER MODIFIZIEREN EINES POLYMERMATERIALS AUF EINER OBERFLÄCHE