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EP 4 031 489 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 27.07.2022  Patentblatt  2022/30 (21) Anmeldenummer: 20792280.8 (22) Anmeldetag:  21.09.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B82Y 10/00(2011.01) H01L 29/76(2006.01) H01L 21/334(2006.01) H01L 29/16(2006.01) H01L 29/762(2006.01) H01L 29/423(2006.01) G06N 10/00(2022.01) H01L 29/40(2006.01) H01L 29/20(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : B82Y 10/00; H01L 29/66977; H01L 29/7613; G06N 10/00; H01L 29/401; H01L 29/423; H01L 29/762 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2020/100811 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/052538 (25.03.2021 Gazette  2021/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 20.09.2019 DE 102019125351 10.06.2020 DE 102020115493 (71) Anmelder: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen 52062 Aachen (DE) Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder: KÜNNE, Matthias 52074 Aachen (DE) BLUHM, Hendrik 52070 Aachen (DE) SCHREIBER, Lars 52074 Aachen (DE) (74) Vertreter: Willems, Volker  Patentanwälte Weisse, Moltmann & Willems PartGmbB Am Lomberg 13 42555 Velbert 42555 Velbert (DE)