(19)

(11)

EP 4 032 148 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 27.07.2022  Patentblatt  2022/30 (21) Anmeldenummer: 20764358.6 (22) Anmeldetag:  27.08.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01R 12/91(2011.01) H05K 7/02(2006.01) H01R 13/631(2006.01) G03F 7/00(2006.01) H01R 12/70(2011.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01R 12/91; H01R 13/631; H01R 12/7005; H01R 13/6315; G03F 7/70991 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/073997 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/052734 (25.03.2021 Gazette  2021/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 16.09.2019 DE 102019214050 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: WOLFSTEINER, Thomas 73433 Aalen (DE) (74) Vertreter: Horn Kleimann Waitzhofer Patentanwälte PartG mbB  Ganghoferstraße 29a 80339 München 80339 München (DE)