(19)
(11) EP 4 049 318 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.08.2022  Patentblatt  2022/35

(21) Anmeldenummer: 20776121.4

(22) Anmeldetag:  21.09.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/66(2006.01)
H01L 29/10(2006.01)
 H01L 29/78(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 29/66666; H01L 29/7827; H01L 29/1033
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/076286
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/078450 (29.04.2021 Gazette  2021/17)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 21.10.2019 DE 102019216142

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHOLTEN, Dick
    70188 Stuttgart (DE)
  • BARINGHAUS, Jens
    71069 Sindelfingen (DE)
  • KREBS, Daniel
    70597 Stuttgart (DE)

   


(54) VERTIKALER FELDEFFEKTTRANSISTOR UND VERFAHREN ZUM AUSBILDEN DESSELBEN