(19)

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EP 4 051 820 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.09.2022  Patentblatt  2022/36 (21) Anmeldenummer: 20797760.4 (22) Anmeldetag:  28.10.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/12(2006.01) F15D 1/00(2006.01) C23C 16/455(2006.01) C23C 14/24(2006.01) F15D 1/02(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 14/12; C23C 14/243; F15D 1/001; C23C 16/45512; C23C 16/45563 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/080278 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/083956 (06.05.2021 Gazette  2021/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.10.2019 DE 102019129176 (71) Anmelder: AIXTRON SE 52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder: GIESE, Hermann Albert 52159 Roetgen (DE) GEORGI, Alexander 52062 Aachen (DE) BINDEL, Jan Raphael 83404 Ainring (DE) SUBRAMANIAM, Dinesh Kanna 52074 Aachen (DE) SCHÄFER, Tobias 52062 Aachen (DE) KEIPER, Dietmar 52078 Aachen (DE) WURZINGER, Olaf Martin 52531 Übach-Palenberg (DE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)