(19)
(11) EP 4 055 205 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.09.2022  Patentblatt  2022/37

(21) Anmeldenummer: 20807295.9

(22) Anmeldetag:  30.10.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/455(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/45565; C23C 16/45574; C23C 16/45561; C23C 16/45544; C23C 16/45523
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/080509
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/089425 (14.05.2021 Gazette  2021/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 05.11.2019 DE 102019129789

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • TEO, Kenneth B. K.
    Cambridge Cambridgeshire CB23 5BH (GB)
  • MCALEESE, Clifford
    Cambridge Cambridgeshire CB4 1UF (GB)
  • CONRAN, Ben Richard
    Cambridge Cambridgeshire CB24 5QB (GB)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk 
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN EINER ZWEIDIMENSIONALEN SCHICHT SOWIE CVD-REAKTOR