(19)
(11) EP 4 058 616 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.09.2022  Patentblatt  2022/38

(21) Anmeldenummer: 20820776.1

(22) Anmeldetag:  07.11.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/56(2006.01)
C23C 4/14(2016.01)
C23C 16/54(2006.01)
C23C 4/137(2016.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/562; C23C 16/545; C23C 4/14; C23C 4/137
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2020/000274
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/093909 (20.05.2021 Gazette  2021/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 14.11.2019 DE 102019007935

(71) Anmelder: elfolion GmbH
06484 Quedlinburg (DE)

(72) Erfinder:
  • DANZIGER, Manfred
    06485 Quedlinburg (DE)

(74) Vertreter: Fischer, Volker 
Sperling, Fischer & Heyner Patentanwälte Bruno-Wille-Straße 9
39108 Magdeburg
39108 Magdeburg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BEARBEITEN FLEXIBLER SUBSTRATE UND VAKUUMBEARBEITUNGSANLAGE ZUR UMSETZUNG DES VERFAHRENS