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EP 4 065 744 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 05.10.2022  Patentblatt  2022/40 (21) Anmeldenummer: 20808350.1 (22) Anmeldetag:  17.11.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/455(2006.01) B23K 26/50(2014.01) C23C 16/458(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/45572; C23C 16/45574; C23C 16/45576; C23C 16/4558; C23C 16/45508; C23C 16/4584; B23K 2103/54; B23K 26/53; B23K 26/359; B23K 26/0006; B23K 26/0624; B23K 26/0884 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/082349 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/104932 (03.06.2021 Gazette  2021/22)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 25.11.2019 DE 102019131794 (71) Anmelder: AIXTRON SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: KOLLBERG, Marcel 52146 Würselen (DE) WRIGHT, Benjamin David Cambridge Cambridgeshire CB1 3PJ (GB) MUKINOVIC, Merim 52146 Würselen (DE) O'NEIL, Barry 52134 Herzogenrath (DE) PLUMMER, Marc Cambridgeshire PE291QD (GB) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)