(19)

(11)

EP 4 069 881 A1

(12)

(43) Date de publication: 12.10.2022  Bulletin  2022/41 (21) Numéro de dépôt: 20817183.5 (22) Date de dépôt:  04.12.2020

(51) Int. Cl.:  C23C 16/24(2006.01) C23C 16/30(2006.01) H01L 21/02(2006.01) C23C 16/28(2006.01) C23C 16/515(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : C23C 16/515; H01L 21/02532; H01L 21/02592; H01L 21/0259; H01L 21/0262; C23C 16/24 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2020/084712 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/110956 (10.06.2021 Gazette  2021/23)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 06.12.2019 FR 1913888 (71) Demandeurs: Centre national de la recherche scientifique 75016 Paris (FR) Ecole Polytechnique 91120 Palaiseau (FR) Université d'Orléans 45100 Orléans (FR)

(72) Inventeurs: VACH, Holger 78310 Coignieres (FR) JARDALI, Fatme 91120 Palaiseau (FR) BONNASSIEUX, Yvan 75013 Paris (FR) BOUFENDI, Laïfa 45560 Saint Denis En Val (FR) (74) Mandataire: IPAZ  Bâtiment Platon Parc Les Algorithmes 91190 Saint-Aubin 91190 Saint-Aubin (FR)