(19)
(11) EP 4 069 884 A1

(12)

(43) Date de publication:
12.10.2022  Bulletin  2022/41

(21) Numéro de dépôt: 20812361.2

(22) Date de dépôt:  01.12.2020
(51) Int. Cl.: 
C23C 18/06(2006.01)
C23C 18/12(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
C23C 18/06; C23C 18/1204; C23C 18/1216
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2020/084169
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/110705 (10.06.2021 Gazette  2021/23)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 02.12.2019 FR 1913618

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • Université Grenoble Alpes
    38400 Saint-Martin-d'Hères (FR)
  • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
    75794 Paris Cedex 16 (FR)

(72) Inventeurs:
  • LAUSECKER, Clément
    37510 BALLAN MIRE (FR)
  • BAILLIN, Xavier
    38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR)
  • CONSONNI, Vincent
    38330 MONTBONNOT ST MARTIN (FR)
  • SALEM, Bassem
    38360 SASSENAGE (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Beaumont 
4, Place Robert Schuman B.P. 1529
38025 Grenoble Cedex 1
38025 Grenoble Cedex 1 (FR)

   


(54) FORMATION DE NANOFILS