(19)

(11)

EP 4 070 365 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.10.2022  Patentblatt  2022/41 (21) Anmeldenummer: 19813323.3 (22) Anmeldetag:  02.12.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H01L 21/683(2006.01) H01L 21/18(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/67288; H01L 21/6838; H01L 21/67109; H01L 21/185 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/083342 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/110238 (10.06.2021 Gazette  2021/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: BURGGRAF, Jürgen 4780 Schärding (AT) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)