(19)

(11)

EP 4 070 366 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.10.2022  Patentblatt  2022/41 (21) Anmeldenummer: 20817271.8 (22) Anmeldetag:  01.12.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H01L 21/8238(2006.01) H01L 29/66(2006.01) H01J 37/32(2006.01) H01L 21/311(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 29/66053; H01L 21/67069; H01L 21/02164; H01L 21/02236; H01L 21/02255; H01L 21/67017; H01L 21/67109; H01L 21/67754 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/084030 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/110631 (10.06.2021 Gazette  2021/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 03.12.2019 DE 102019218727 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: RUDHARD, Joachim 70771 Leinfelden-Echterdingen (DE)