(19)
(11) EP 4 073 286 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.10.2022  Patentblatt  2022/42

(21) Anmeldenummer: 20792922.5

(22) Anmeldetag:  01.10.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 18/16(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 18/1608; C23C 18/1612; C23C 18/1641
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2020/100840
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/115518 (17.06.2021 Gazette  2021/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 11.12.2019 DE 102019133955

(71) Anmelder: LPKF Laser & Electronics AG
30827 Garbsen (DE)

(72) Erfinder:
  • RÖSENER, Bernd
    32457 Porta Westfalica (DE)
  • KRÜGER, Robin Alexander
    30419 Hannover (DE)
  • FISCHER, Alexander
    30855 Langenhagen (DE)

(74) Vertreter: Scheffler, Jörg 
Patentanwaltskanzlei Scheffler Arnswaldtstraße 31
30159 Hannover
30159 Hannover (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN STRUKTUR