(19)

(11)

EP 4 073 587 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.10.2022  Patentblatt  2022/42 (21) Anmeldenummer: 20821247.2 (22) Anmeldetag:  14.12.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/004(2006.01) G03F 7/029(2006.01) G03F 7/095(2006.01) G03F 7/027(2006.01) G03F 7/031(2006.01) G03F 7/20(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/095; G03F 7/027; G03F 7/0048; G03F 7/031; G03F 7/029; G03F 7/2024 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/086029 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/116496 (17.06.2021 Gazette  2021/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 12.12.2019 EP 19215470 (71) Anmelder: XSYS Germany GmbH 77731 Willstatt (DE)	(72) Erfinder: BEYER, Matthias 69469 Weinheim (DE) BECKER, Armin 67259 Großniedesheim (DK) WENDLAND, Torben 71272 Renningen (DE) SCHLEGEL, Isabel 76437 Rastatt (DE) FRONCZKIEWICZ, Peter J Lake Wylie, SC 29710 (US) WUNDLING, Anja 77866 Rheinau (DE) (74) Vertreter: Arnold & Siedsma  Bezuidenhoutseweg 57 2594 AC The Hague 2594 AC The Hague (NL)