(19)

(11)

EP 4 073 835 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 19.10.2022  Patentblatt  2022/42 (21) Anmeldenummer: 19818054.9 (22) Anmeldetag:  10.12.2019

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H01L 21/68(2006.01) G03F 9/00(2006.01) H01L 21/18(2006.01) H01L 23/544(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/67092; H01L 23/544; H01L 21/67259; H01L 21/681; H01L 21/187; G03F 9/7011; H01L 2223/54426 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2019/084471 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/115574 (17.06.2021 Gazette  2021/24)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 4782 St. Florian am Inn (AT)	(72) Erfinder: KRÓL, József 94036 Passau (DE) (74) Vertreter: Schneider, Sascha et al Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22 40878 Ratingen 40878 Ratingen (DE)