(19)
(11) EP 4 073 845 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.10.2022  Patentblatt  2022/42

(21) Anmeldenummer: 20824439.2

(22) Anmeldetag:  11.11.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/06(2006.01)
H01L 29/775(2006.01)
H01L 29/16(2006.01)
 H01L 29/423(2006.01)
H01L 29/78(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 29/0673; H01L 29/775; H01L 29/42368; H01L 29/068; H01L 29/7831; H01L 29/1606; H01L 29/42376
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2020/000279
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/115507 (17.06.2021 Gazette  2021/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 12.12.2019 DE 102019008601

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • MIKULICS, Martin
    52428 Jülich (DE)
  • HARDTDEGEN, Hilde
    52064 Aachen (DE)

   


(54) HALBLEITERSTRUKTUR MIT EINER DIELEKTRISCHEN ODER HALBLEITENDEN SCHICHT DIE EIN DICKENPROFIL AUFWEIST