(19)
(11) EP 4 077 758 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.10.2022  Patentblatt  2022/43

(21) Anmeldenummer: 20841893.9

(22) Anmeldetag:  16.12.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/04(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
B25B 11/00(2006.01)
B05B 13/02(2006.01)
 C23C 14/50(2006.01)
C23C 16/458(2006.01)
B25J 11/00(2006.01)
B05C 13/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/042; C23C 14/50; C23C 16/042; C23C 16/458; C23C 16/4587; B05B 13/0207; B05B 13/0285; B05B 13/0228; B05B 13/0242
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/086504
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/122805 (24.06.2021 Gazette  2021/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 19.12.2019 DE 102019135183

(71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
8808 Pfäffikon (CH)

(72) Erfinder:
  • SIEBERT, Max
    67295 Bolanden (DE)
  • EGGEMANN, Jens
    55543 Bad Kreuznach (DE)
  • BECKER, Christian
    55411 Bingen (DE)
  • MUELLER, Dieter
    55411 Bingen am Rhein (DE)

(74) Vertreter: Bals & Vogel Patentanwälte PartGmbB 
Konrad-Zuse-Str. 4
44801 Bochum
44801 Bochum (DE)

   


(54) HALTESYSTEM ZUM HALTEN VON SUBSTRATEN WÄHREND EINER BEARBEITUNG DER OBERFLÄCHEN DER SUBSTRATE