(19)
(11) EP 4 077 759 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.10.2022  Patentblatt  2022/43

(21) Anmeldenummer: 20830157.2

(22) Anmeldetag:  16.12.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/50(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
B25J 15/06(2006.01)
B23Q 3/15(2006.01)
 C23C 16/458(2006.01)
B23Q 17/22(2006.01)
B25B 23/12(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/32715; C23C 16/4581; C23C 14/505
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/086512
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/122810 (24.06.2021 Gazette  2021/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 19.12.2019 DE 102019135182

(71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
8808 Pfäffikon (CH)

(72) Erfinder:
  • MUELLER, Dieter
    55411 Bingen am Rhein (DE)
  • SIEBERT, Max
    67295 Bolanden (DE)
  • HOEWELING, Christoph
    31162 Bad Salzdetfurth (DE)

(74) Vertreter: Bals & Vogel Patentanwälte PartGmbB 
Konrad-Zuse-Str. 4
44801 Bochum
44801 Bochum (DE)

   


(54) HALTEVORRICHTUNG ZUM HALTEN EINES MAGNETISIERBAREN SUBSTRATS WÄHREND EINER BEARBEITUNG EINER OBERFLÄCHE DES SUBSTRATS