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EP 4 077 760 A1

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(43) Date de publication: 26.10.2022  Bulletin  2022/43 (21) Numéro de dépôt: 20848804.9 (22) Date de dépôt:  17.12.2020

(51) Int. Cl.:  C23C 14/56(2006.01) B22F 3/105(2006.01) B33Y 30/00(2015.01) C23C 14/16(2006.01) B29C 64/00(2017.01) H01J 37/32(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : C23C 14/564; C23C 14/165; B33Y 30/00; H01J 37/32871; H01J 37/32568; H01J 37/34; B22F 10/28; B22F 10/77; B22F 12/70; Y02P 10/25 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2020/052502 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/123640 (24.06.2021 Gazette  2021/25)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 18.12.2019 FR 1914764 (71) Demandeurs: AddUp 63118 Cébazat (FR) Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 75016 Paris (FR) Université Paris-Saclay 91190 Gif-sur-Yvette (FR)

(72) Inventeurs: MINEA, Tiberiu 75016 Paris (FR) LECOEUR, Philippe 91440 Bures sur Yvette (FR) WALRAND, Gilles 63118 Cébazat (FR) (74) Mandataire: Novagraaf Technologies  Bâtiment O2 2, rue Sarah Bernhardt CS90017 92665 Asnières-sur-Seine Cedex 92665 Asnières-sur-Seine Cedex (FR)