(19)
(11) EP 4 078 645 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.10.2022  Patentblatt  2022/43

(21) Anmeldenummer: 20829833.1

(22) Anmeldetag:  14.12.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 33/04(2006.01)
B01D 53/00(2006.01)
H01J 37/063(2006.01)
A61L 9/18(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/063; H01J 33/04; B01D 53/007; B01D 53/323; B01D 53/30; B01D 2257/302; B01D 2257/404; B01D 2258/01; B01D 2259/812; B01D 2259/818
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/085888
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/122404 (24.06.2021 Gazette  2021/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 16.12.2019 DE 102019134558

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MATTAUSCH, Gösta
    01277 Dresden (DE)
  • WEIDAUER, André
    01277 Dresden (DE)
  • BLÜTHNER, Ralf
    01277 Dresden (DE)
  • KUBUSCH, Jörg
    01277 Dresden (DE)
  • RÖGNER, Frank-Holm
    01277 Dresden (DE)
  • KIRCHHOFF, Volker
    01277 Dresden (DE)
  • LABITZKE, Rainer
    01277 Dresden (DE)
  • ZIMMERMANN, Burkhard
    01277 Dresden (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BEAUFSCHLAGEN GASFÖRMIGER MEDIEN MIT BESCHLEUNIGTEN ELEKTRONEN