(19)

(11)

EP 4 082 037 A1

(12)

(43) Date de publication: 02.11.2022  Bulletin  2022/44 (21) Numéro de dépôt: 20824294.1 (22) Date de dépôt:  18.12.2020

(51) Int. Cl.:  H01L 21/78(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/7806 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2020/087242 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/130136 (01.07.2021 Gazette  2021/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 26.12.2019 FR 1915606 (71) Demandeur: Aledia 38130 Echirolles (FR)	(72) Inventeurs: DUPONT, Tiphaine 38000 GRENOBLE (FR) DAANOUNE, Mehdi 38340 VOREPPE (FR) JEANNIN, Olivier 38000 GRENOBLE (FR) ROBIN, Ivan-Christophe 38000 GRENOBLE (FR) DUPONT, Florian 38000 GRENOBLE (FR) (74) Mandataire: Cabinet Beaumont  4, Place Robert Schuman B.P. 1529 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)