(19)
(11) EP 4 088 323 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
16.11.2022  Patentblatt  2022/46

(21) Anmeldenummer: 21715539.9

(22) Anmeldetag:  24.03.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0747(2012.01)
H01L 31/18(2006.01)
C23C 14/14(2006.01)
C23C 14/58(2006.01)
 H01L 31/0368(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
C23C 14/34(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 31/0747; H01L 31/03682; H01L 31/182; H01L 21/02532; H01L 21/02631; H01L 21/02381; H01L 21/02488; H01L 21/02573; H01L 21/02592; H01L 31/1804; H01L 21/0245; H01L 21/02502; Y02P 70/50; Y02E 10/547; Y02E 10/546
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/057582
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/191285 (30.09.2021 Gazette  2021/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 26.03.2020 DE 102020001980

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • MANDLMEIER, Benjamin
    82343 Pöcking (DE)
  • HÜBNER, Simon
    63500 Seligenstadt (DE)
  • WOHLFART, Peter
    63796 Kahl am Main (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB 
Siebertstraße 3
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND ANLAGE ZUR HERSTELLUNG EINES AUSGANGSMATERIALS FÜR EINE SILIZIUMSOLARZELLE MIT PASSIVIERTEN KONTAKTEN