(19)
(11) EP 4 097 270 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.12.2022  Patentblatt  2022/49

(21) Anmeldenummer: 21701671.6

(22) Anmeldetag:  12.01.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/04(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
 C23C 16/455(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/45555; C23C 16/045; B81C 1/0038; B81B 2201/058
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/050466
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/151655 (05.08.2021 Gazette  2021/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 29.01.2020 DE 102020102076

(71) Anmelder: Universität Hamburg
20148 Hamburg (DE)

(72) Erfinder:
  • MÜLLER, Manuel
    22605 Hamburg (DE)
  • FERNANDEZ-CUESTA, Irene
    22763 Hamburg (DE)
  • ZIEROLD, Robert
    21107 Hamburg (DE)

(74) Vertreter: Hauck Patentanwaltspartnerschaft mbB 
Postfach 11 31 53
20431 Hamburg
20431 Hamburg (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON KANÄLEN EINER PROBE MITTELS ABSCHEIDUNG AUS DER GASPHASE