(19)
(11) EP 4 103 760 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.12.2022  Patentblatt  2022/51

(21) Anmeldenummer: 21706497.1

(22) Anmeldetag:  12.02.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/35(2006.01)
C23C 14/54(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
 C23C 14/50(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 14/351; C23C 14/352; C23C 14/357; C23C 14/505; C23C 14/547; H01J 37/32192; H01J 37/3405; H01J 37/32935; H01J 37/3299; H01J 37/32779
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/053428
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/160786 (19.08.2021 Gazette  2021/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 13.02.2020 DE 102020201829

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • VERGÖHL, Michael
    38108 Braunschweig (DE)
  • PFLUG, Andreas
    38108 Braunschweig (DE)
  • ZICKENROTT, Tobias
    38108 Braunschweig (DE)
  • BRUNS, Stefan
    38108 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner mbB 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 11a
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHICHTEN MIT VERBESSERTER UNIFORMITÄT BEI BESCHICHTUNGSANLAGEN MIT HORIZONTAL ROTIERENDER SUBSTRATFÜHRUNG MIT ZUSÄTZLICHEN PLASMAQUELLEN