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EP 4 104 021 A2

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(88) Veröffentlichungstag A3: 14.10.2021 (43) Veröffentlichungstag: 21.12.2022  Patentblatt  2022/51 (21) Anmeldenummer: 21705156.4 (22) Anmeldetag:  11.02.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) H01L 41/08(2006.01) G02B 7/185(2021.01) G02B 26/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/70266; G03F 7/70891; G02B 7/185; G02B 26/0825; G02B 7/181; H01L 41/083; H01L 41/04; H01L 41/183; G02B 5/0891; G02B 5/09 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/053278 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/160712 (19.08.2021 Gazette  2021/33)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 13.02.2020 DE 102020201774 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: RABA, Andreas 86694 Niederschönenfeld (DE) LIPPERT, Johannes 91592 Buch am Wald (DE) RAAB, Markus 91583 Schillingsfürst (DE) (74) Vertreter: Raunecker, Klaus Peter  Raunecker Patent Frauenstraße 11 89073 Ulm 89073 Ulm (DE)