(19)

(11)

EP 4 104 203 A1

(12)

(43) Date de publication: 21.12.2022  Bulletin  2022/51 (21) Numéro de dépôt: 21703472.7 (22) Date de dépôt:  10.02.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 21/20(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/0254; H01L 21/02458; H01L 21/02505; H01L 21/02507; H01L 21/02601; H01L 21/0259; H01L 21/02513 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2021/053199 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/160664 (19.08.2021 Gazette  2021/33)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 12.02.2020 FR 2001370 (71) Demandeurs: Centre national de la recherche scientifique 75016 Paris (FR) UNIVERSITE DE MONTPELLIER 34090 Montpellier (FR)	(72) Inventeurs: BRAULT, Julien 06600 ANTIBES (FR) AL KHALFIOUI, Mohamed 06000 NICE (FR) MASSIES, Jean 06560 VALBONNE (FR) GIL, Bernard 34090 MONTPELLIER (FR) (74) Mandataire: Atout PI Laplace  Immeuble "Visium" 22, avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)